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氮化硅陶瓷基板爐

產(chǎn)品介紹

氮化硅陶瓷基板爐具有高穩(wěn)定性、高人性化、低維護(hù)的特點(diǎn)，采用非接觸式高溫測(cè)量、真空系統(tǒng)過濾保護(hù)、獨(dú)特尾氣處理設(shè)計(jì)。主要用于氮化硅流延基板先進(jìn)材料等進(jìn)行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應(yīng)用于航天航空、電子電器半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

產(chǎn)品參數(shù)

裝料空間（WHL）	6006001400
溫度均勻性	≤±4℃
最高工作溫度	2200℃
最高工作壓力	2MPa

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